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            上海添時科學(xué)儀器有限公司

            PRODUCT DISPLAY

            當(dāng)前位置:上海添時科學(xué)儀器有限公司>>CVD氣相沉積>>低真空CVD系統(tǒng)>> OTF-1200X-80-III-F3LV1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

            1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

            參  考  價:面議
            具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

            產(chǎn)品型號:OTF-1200X-80-III-F3LV

            品       牌:合肥科晶

            廠商性質(zhì):代理商

            所  在  地:上海市

            更新時間:2025-03-13 12:34:43瀏覽次數(shù):2529次

            聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
            產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 面議
            儀器種類 管式爐 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合
            OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達(dá)到 10-2 torr。

            殼體結(jié)構(gòu)

             · 雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷

             · 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環(huán)保節(jié)能

             · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命 

            可開啟式,更換爐管方便

            功率

             5 KW 

            電壓 

            AC 208-240V單相, 50/60 Hz 

            加熱元件

            Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 

            最高工作溫度

            1200℃ 

            連續(xù)工作溫度

            1100℃

            最大加熱速率 

             ≤20 ℃/min

            石英管& 密封法蘭

             · 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內(nèi) 

            · 儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門(點擊下面的圖片查看詳細(xì)的信息)

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            加熱區(qū)長度

            · 三個溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total)

             · 溫區(qū) 1: 220mm (8.6" ) 

            · 溫區(qū) 2: 440mm (17.3")溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。

            溫控系統(tǒng)

            · 三個精密溫度控制器,可獨立控溫· PID控制方式,通過PWM固體繼電器。

            · 30段可編程智能溫度調(diào)節(jié)儀,并可設(shè)置30段升降溫程序. 

            · 帶有過熱和斷偶保護功能

            控溫精度 

            +/- 1℃

            真空密封系統(tǒng)

             · 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥).

             · 通過機械泵真空度可以達(dá)到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵,真空度可以達(dá)到10-4 torr. 

             · 漏氣率 < 5 m-torr / min

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            真空泵 

            采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有進口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的0.3微米

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            數(shù)字式真空顯示計 

            可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換

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            氣體流量計和壓力表 

            · 三個浮子流量計,能夠檢測到氣體的流 

            · 三路浮子量程分別為· 10-100 cc/min. 

            · 16-160 cc/min. 

            · 25-250 cc/min 

            · 內(nèi)部安裝有一混氣罐有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上,可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力

            閥門 

            四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側(cè)面上,用于控制氣體的流量

             外形尺寸 

            · 爐子: 1100 X 450 x 670mm 

                底部移動架: 600x600x597mm

             開門斷電 

            為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計

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            凈重 

            約 90 Kg 

            運輸重量 

            245 lbs

            質(zhì)保期

            一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件 

            使用注意事項

            · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 

            · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa會更加精確安全 

            · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) 

            · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

            · 石英管的長時間使用溫度<1100℃對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等

            同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品

            1200℃三溫區(qū)三通道混氣CV

            型號:OTF-1200X-80-III-F3LV 參考價: ¥面議
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